科目名 : 真空電子工学2

科目コード 60550
配当学年 4年
開講期 前期
曜時限 月曜・2時限
講義室 桂2
単位数 2
履修者制限
講義形態 講義
言語
担当教員 高岡義寛・後藤康仁

講義概要

電子およびイオンビームを用いたデバイスや装置の基本動作原理を講述する.まず,電子ビームと電磁波との相互作用を利用した超高周波電子管について説明する.次に電子ビームと固体との相互作用を利用したデバイスやプロセス装置および分析装置について説明する.さらにイオンビームと固体表面との相互作用を利用したプロセス装置および分析装置について説明する.

評価方法

期末試験の結果により成績判定する.

最終目標

電子ビームやイオンビームを用いた装置についてどのような原理で動作しているかを理解する.

講義計画

項目 回数 内容説明
荷電粒子ビーム装置の概要 1 エネルギーの輸送媒体である電子ビームと元素の輸送媒体であるイオンビームを用いたデバイスや装置への利用形態について説明し,荷電粒子ビーム装置の応用の現状について紹介する.
超高周波電子管 5 短い走行時間を利用するマイクロバキュームチューブの動作原理を述べた後,電子ビームの密度変調を利用する超高周波電子管である速度変調管, 進行波管,マグネトロン,ジャイロトロンの動作原理を説明する.
電子ビームデバイス・装置とその動作原理 4 電子ビームを用いた各種デバイスの動作原理について述べた後,電子ビームを用いた蒸着,溶接,照射(架橋),露光, 分析などの装置, 表示素子等の動作原理について説明する.
イオンビーム装置とその動作原理 4 イオン注入装置,イオンビームエッチング装置,イオンビーム蒸着装置の動作原理を説明した後,イオンビームを用いた分析装置の動作原理について述べる.
フィードバック授業 1 教員の指定する日時に講義の内容や試験の問題などに対する質問に回答する。

教科書

石川順三: 荷電粒子ビーム工学 (コロナ社)

参考書

予備知識

真空電子工学1

授業URL

その他